氧化铝陶瓷与碳化硅陶瓷具有质量致密、硬度高、耐磨性强的物理性能，以及耐热性好、机械强度优、绝缘性好、耐腐蚀性好等特点，是制作半导体设备机械臂的优良材料。
但从性能上来说，硅陶瓷制成的机械臂要优于氧化铝陶瓷制成的机械臂， 普通烧结碳化硅陶瓷制品采用高纯超细碳化硅微粉，经2450℃高温烧结而成，碳化硅含量在99.1%以上，制品密度≥3.10g/cm 3。
Silicon carbide kiln furniture
Silicon Carbide Irregular Shaped ltems
Silicon Nitride Bonded Silicon Carbide(NSiC)
SiC Moving arm in Semiconductor
Silicon Carbide Classiflying Wheels
Recrystallized Silicon Carbide Products(RSiC)
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Silicon Carbide Barrel by Pressureless Sintering
