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Semiconductor Dome
Semiconductor Dome

应用场景: 

蚀刻 DPS 和薄膜 CVD 部件


工艺难点:

(1)大尺寸不规则腔体陶瓷零件原料成型及烧结
(2)电性能控制(介电常数、介电损耗)


解决方案:

(1)采用一次性等静压及原料处理工艺,并采用特殊的烧成方法进行烧成:
(2)使用高纯度原料,并控制工艺过程中引入的杂质量;

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